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HIWIN R20-20K2-FSC 볼스크류의 주요 응용 분야
고정밀, 고강성, 저소음, 장수명 등의 특성 덕분에 FSC 시리즈는 정밀한 모션 제어 성능이 요구되는 다양한 응용 분야에서 널리 사용되고 있습니다:
반도체 제조 장비:
포토리소그래피 장비, 웨이퍼 검사 장비, 칩 패키징 장비, 프로브 스테이션 등이 있습니다. 이러한 장비들은 나노미터 수준의 위치 정밀도와 극도로 높은 안정성이 요구됩니다.
정밀 측정 및 검사 기기:
3D 좌표 측정기, 이미지 측정기, 프로파일 측정기, 표면 거칠기 측정기, 광학 검사 장비 등이 있습니다. 고정밀, 저진동, 크리프가 없는 특성이 요구됩니다.
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