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HIWIN R20-20K2-FSC ボールねじの主な用途
高精度、高剛性、低騒音、長寿命といった特徴を持つFSCシリーズは、高性能な運動制御が要求されるさまざまな用途に広く使用されています：
半導体製造装置:
フォトリソグラフィ装置、ウェハ検査装置、チップ封止装置、プローブステーションなどです。これらの装置にはナノメートルレベルの位置決め精度と極めて高い安定性が求められます。
精密測定・検査機器：
三次元座標測定機、画像測定機、プロフィロメータ、表面粗さ測定器、光学検査装置など。高精度、低振動、クリープフリーが要求されます。 
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