Typische Anwendungen der HIWIN R20-20K2-FSC Kugelmuttern
Dank seiner hohen Präzision, hohen Steifigkeit, geringen Geräuschentwicklung und langen Lebensdauer wird die FSC-Serie häufig in Anwendungen eingesetzt, die eine leistungsstarke Bewegungssteuerung erfordern:
Ausrüstung für Halbleiterfertigung:
Photolithographiemaschinen, Wafer-Inspektionsequipment, Chip-Packaging-Ausrüstung, Prüfstationen, etc. Diese Geräte benötigen eine Positioniergenauigkeit im Nanometerbereich und äußerst hohe Stabilität.
Präzisionsmess- und Prüfgeräte:
3D-Koordinatenmessmaschinen, Bildmessmaschinen, Profilometer, Oberflächenrauheitstester, optische Prüfgeräte, etc. Erfordert hohe Präzision, geringe Vibration und keine Kriechbewegung.
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